Vantaġġi:
Din is-serje ta 'pompa hija tajba f'rendiment taħt ambjent ħarxa (temperatura għolja, trab, eċċ.), Stabbli fil-prestazzjoni u b'ħajja twila ta' servizz, u manutenzjoni sempliċi u tħaddim konvenjenti wkoll.
Applikazzjonijiet:
L-applikazzjonijiet ewlenin huma fl-iskoperta ta 'tnixxija industrijali, PVD, CVD, impjantazzjoni ta' joni, manifattura ta 'komponenti elettroniċi bil-vakwu, ħġieġ b'livell baxx ta' E, ħġieġ ITO, kisi ottiku, ċelloli solari, iwweldjar b'raġġ ta 'elettroni, forn tal-vakwu u industriji oħra
Speċifikazzjonijiet:
Flanġ (Ġo) | DN400 ISO-K | Gass Matul (sccm) | N2: 5500 |
Flanġ (Barra) KF | DN100 | Huwa : 4000 | |
Veloċità tal-Ippumpjar (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Huwa : 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Veloċità tar-Rotazzjoni (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Ħin tat-Tluq (min) | ≤18 | |
Proporzjon tal-Kompressjoni | N2: 108 | Tip ta 'Tkessiħ, Standard | Ilma |
Huwa : 103 | Konsum ta 'Ilma li Jkessaħ (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura tal-Ilma li Jkessaħ (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Konnessjoni tal-Enerġija: Vultaġġ (V AC) | DC24 / AC220 | |
Pressjoni Ultimata (Pa) | 6 × 10-6 | Konsum Massimu tal-Enerġija (W) | ≤1100 |
Massimu Pressjoni kontinwa ta 'vakwu minn qabel (Pa) | 100 | Mudell tal-Kontrollur | FD-III |
Massimu Pressjoni bil-vakwu ta 'quddiem | N2: 300 | Piż (kgs) | 130 |