Hija l-verżjoni Upgrade ta 'EM8000, b'aċċelerazzjoni aġġornata tat-tubu E-Beam, tvarja l-modalità vakwu, disponibbli biex tosserva kampjun mhux konduttiv b'vultaġġ baxx mingħajr sputtering, sistema ta' operazzjoni faċli, konvenjenti u faċli, pjan ta 'remodel ta' estensjoni multipla. Huwa wkoll l-ewwel FEG SEM li għandu r-riżoluzzjoni f'1nm (30kV).
Vantaġġi:
1, pistola elettronika Schittky, luminożità għolja, monokromatiċità tajba, spot ta 'raġġ żgħir, ħajja twila.
2, B'aċċelarazzjoni tat-tubu tar-raġġ E, deċelerazzjoni fakultattiva tal-istadju
3, Kurrent tar-raġġ stabbli, tixrid ta 'enerġija baxxa
4, Kampjun mhux konduttiv osserva mingħajr sputtering f'vultaġġ baxx
5, Interfaċċja ta 'operazzjoni faċli, konvenjenti u faċli
6, Enormi 5 assi stadju motorizzat
Speċifikazzjonijiet:
Konfigurazzjoni | |
Riżoluzzjoni | 1nm @ 30kV (SE) |
3nm @ 1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
Ingrandiment | 15x-800,000x |
Vultaġġ li Jaċċelera | 0-30kV kontinwu u aġġustabbli |
Pistola Elettronika | Pistola għall-emissjoni tal-kamp Schottky |
Emettitur tal-Katodu | Monokristall tat-tungstenu |
Ħames Assi Ewkentriċi Stadju Awtomatiku | X: 0 ~ 150mm |
Y: 0 ~ 150mm | |
Z: 0 ~ 60mm | |
R: 360 ° | |
T: -5 °~75 ° | |
Kampjun Max | 320mm |
L * W * H | 342mm * 324mm * 320mm (ġewwa d-daqs tal-kamra) |