Pompa Levitika Manjetikament, CXF-320 / 3001E, Tkessiħ bl-ilma, ISO-F, Abbord

Il-pompi molekulari levitati manjetikament huma l-pompi li x-xaft tagħhom huwa sostnut bis-saħħa tal-forza manjetika.
Serje ta 'pompi molekulari levitati manjetikament huma tagħmir għall-ġenerazzjoni tal-vakwu żviluppat minn KYKY biex jissodisfa r-rekwiżiti ta' applikazzjoni għal oqsma ta 'manifattura moderna ta' semikondutturi, manifattura taċ-ċippa, plating industrijali u strumenti xjentifiċi.

Vantaġġi:

1. Frizzjoni żero waqt it-tħaddim, u konsum baxx ta 'enerġija
2. Faċli biex takkwista vakwu għoli verament nadif u vakwu ultrahigh mingħajr lubrikazzjoni għall-pompi
3. Kapaċi joħroġ gassijiet korrużivi għal żmien twil
4. Sigurtà għolja u ħajja twila ta 'servizz minħabba l-protezzjoni tal-bearings bi blalen taċ-ċeramika ta' preċiżjoni
5. funzjoni li tiġġenera l-enerġija f'każ ta 'tifi f'daqqa
6. Mingħajr frizzjoni
7. Ħieles mit-tniġġis
8. Mingħajr manutenzjoni
9. Vibrazzjoni baxxa
10. installat fi kwalunkwe orjentazzjoni.

Applikazzjonijiet:

Serje ta 'pompi molekulari levitati manjetikament huma prinċipalment applikati għal oqsma ta' manifattura ta 'semikondutturi, manifattura ta' klipps, kisi industrijali u strumenti xjentifiċi, speċjalment għall-estrazzjoni ta 'gassijiet korrużivi li jeżistu f'impjant ta' etch, CVD, PVD u joni u gassijiet faċilment koagulati f'temperatura normali.

Speċifikazzjonijiet:

Teknoloġiji:

• Teknoloġija ta 'Kontroll għal Filwaqt Manjetiku: 5 assi manjetikament levitati, ibbażati fuq teorija avvanzata ta 'kontroll internazzjonali, biex jiggarantixxu vantaġġi sinifikanti bħal dawn ta' xaft ta 'veloċità għolja bħala operazzjoni stabbli levitata u affidabbli.
• Teknoloġija tal-Kontroll tas-sewqan bil-mutur: Mutur DC ta 'veloċità għolja ta' effiċjenza għolja u sistema ta 'kontroll servo, li għandhom l-enerġija massima tal-mutur u biex jikkumpensaw il-veloċità li ddur ta' shafting awtomatikament, u b'hekk tirrealizza start-up stabbli, operazzjoni affidabbli u funzjoni ta 'regolazzjoni awtomatika ta' enerġija dinamika.
• Teknoloġija tar-rotor kompost tal-fibra tal-karbonju: Magħmul bit-taħlit ta 'liga ta' aluminju ta 'saħħa għolja u fibra tal-karbonju ħafifa. ikkaratterizzat minn tnaqqis kbir ta 'piż u titjib kbir ta' saħħa, sabiex jintlaħqu miri ta 'veloċità għolja ta' rotazzjoni, prestazzjoni għolja u affidabilità għolja.
• Teknoloġija li tirreżisti l-korrużjoni: Uċuħ ta 'partijiet fil-kmamar huma ttrattati bi proċess speċjali, sabiex l-uċuħ jistgħu jirreżistu korrużjoni kkawżata minn gassijiet korrużivi fi proċessi ta' manifattura ta 'semikondutturi għal żmien twil. Barra minn hekk, gassijiet inerti bħal N2 jimtlew bis-sħiħ fix-shafting tal-pompi biex jipproteġu l-partijiet ta 'vakwu baxx fil-pompi, sabiex titwettaq il-funzjoni li teżawrixxi b'mod stabbli gassijiet korrużivi għal perjodi twal.
• Sistema ta 'kontroll tat-temperatura tat-tisħin: mgħammra b'heater elettriku u kontrollur tat-temperatura, ilma li jkessaħ, tisħin ta 'arja-għadam, tisħin elettriku u sħana li jinġarru minn gassijiet protettivi jistgħu jiġu mmonitorjati u kkontrollati waqt it-tħaddim, it-temperatura fil-pompi tista' tinżamm f'xi valur għal żmien twil, xi wħud gassużi sustanzi mhumiex ikkonvertiti f'sustanzi solidi f'temperatura normali u mhux iddepożitati fil-pompi, u r-rekwiżiti għal proċess speċjali bħal inċiżjoni jistgħu jiġu sodisfatti.